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“변형 화학 증착 공법”으로 총 1건 검색

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  • 변형 화학 증착 공법, 變形化學蒸着工法, Modified Chemical Vapour Deposition, MCVD
    석영관 속에 도펀트를 포함한 원료 가스를 산소 가스와 함께 보내어 석영관의 외측을 가열하고 내측에 유리막을 퇴적시킨 후 중실화(中實化)하여 모재를 제조하는 방법. MCVD법이라고 약칭하기도 한다. 고주파 전계에 의한 플라스마 불꽃으로 가열하는 제조법을 플라스마 화학 증착 공법(CVD)이라 한다.